文/工商时报谢易晏
2022/10/18
 
『ESG要怎么发展，站在制造业的角度上，就是要突破原本的思维，从材料科学源头出发，才能创造最有效的减碳效果。』
近年芯片供需战的火热化，也让台湾半导体产业的发展更受人瞩目，但ESG净零碳排意识逐渐抬头，如何在有限的能源使用前提下，迈向二奈米或更高精密的产业发展，已经成为高精密产业的急迫议题。
 
拆解台湾半导体产业的运作环节，除了制程原物料采购及生产制程外，提供整个制程所需环境的高科技厂房设施，以往是容易被忽略的部分，在ESG净零碳排议题兴起后，开始有越来越多人注意到高科技厂房设施，实质是影响直接碳排重要的隐形环节。
 
在半导体制程的制程过程中，逸散到环境中的AMC（气体微污染物），对于晶圆制造良率产生绝对影响，需要依靠厂房设施进气单源MAU与风扇机组FFU，以及无尘室中的安装的专业化学滤网，进行相对应的吸附过滤，减少粒子状的污染物沈积在晶圆表面的机率，才能减少不良品的产生，提升产品关键良率，同时也避免了制程时间的增加，以及后续造成的能源消耗及废弃物间接碳排。
 
工商时报带您前进两岸三地最大化学滤网制造商钰祥企业台南工厂，钰祥企业总经理庄士杰指出，在AMC分类中的E类污染源物质异丙醇与丙酮，是实务经验中晶圆代工客户在良率上目前遇到最大的瓶颈，特别是当关键线宽的尺寸进展到低于0.25微米时，单纯的无尘空间已经不能满足晶圆制造对于洁净度的需求。
 
今年度钰祥透过独家材料研发成功，在实验研究数据的呈现以及产线实际应用上，产品使用寿命及过滤效能都达到两倍的突破成果，而新型滤网在效能加倍的前提下却可重复利用5次，滤筒则达到95％以上的循环再利用。
 
工商时报 报导连结