2022-10-07
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随着半导体制程持续精进,在制程改变的同时,举凡材料、材质都将随之改变,所以此刻对于半导体制程威胁最大的挥发性有机化合物(VOC)种类,已与过去大不相同;加上ESG趋势潮流兴起,半导体制造商针对化学滤网的材料要求,开始着重可循环、可再生等特质。上述挑战接踵而至,对于化学滤网业者无疑是巨大考验。
钰祥企业董事长暨总经理庄士杰表示,现今客户(即半导体制造商)对化学滤网的要求极为严苛,既要迎合ESG原则,也要具有较长的使用寿命,且必须能同时去除低中高沸点的挥发性有机化合物;其中最需要严加防备的气态污染物,即为异丙醇(IPA)和丙酮(Acetone)等两大类低沸点VOC。
鉴于此,身为台湾化学滤网业界领导厂商的钰祥积极投入研发,成功找出高效滤材、以及强化的再生技术,研发出新一代堆栈式可再生IPA滤网产品IPA-001B,不仅对IPA或Acetone都能展现优异吸附效率,同时一次可执行长达15天过滤任务(意即15天才需更换一次滤网),反观一般同质产品每隔3~5天即需更换滤网,显见IPA-001B的产品寿命,足足比市场平均值高出3~5倍。
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FFU滤网更换不易,产品寿命及再生使用次数成为重要标准
新一代可再生滤网IPA-001B不只寿命延长,而且还能再生。庄士杰说,虽然市场上并不仅有钰祥出产可再生滤网;但他牌商品需要短周期的频繁更换,且历经3、4次再生制程后,单次的使用寿命就急遽锐减为1天,使用者要在无尘室中搬运滤网,并在离地8~9米高的FFU(Fan Filter Unit)进行置换,整个作业过程需要高专注力及体力,在高频率的更换下负荷极高,难以符合客户的期待。
至于IPA-001B,尽管仍会随着再生次数增多而导致寿命递减,但衰减速度比他牌商品平缓许多。大致上来说,IPA-001B单一产品包含再生的总使用寿命约60天,其余竞品则不超过12天,前后相差五倍之多;不仅如此,有效降低滤网更换频率,同时得以大幅减少高达95%的废弃物,符合ESG净零减碳精神,称得上是一大突破。
庄士杰解释,回顾过往10奈米以上制程阶段,半导体业者并不需要像现在一样严防IPA与Acetone,甚至一年仅换一次滤网都行。但随着制程推进到10奈米以下后,闸极厚度愈来愈小,而大小介于0.1~10奈米的IPA及Acetone,一旦掉落到制程或门极上,就有极高可能对产品良率造成影响,产生重大威胁,连带造成滤网失效率增加、寿命减短,而在更换频度上,若无尘室进气浓度高需要3天一换,假使浓度低可延长为5天一换,偏高的滤网换置频率,无论对成本的消耗及废弃物的产生量,甚至在于高频率、高处更换FFU滤网的坠地工安风险疑虑,都成为半导体高精密制程产业的负担及风险,而钰祥新一代可再生IPA化学滤网的问世,成为了解决难题的密钥。
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