2022-10-07
随着半导体制程持续精进，在制程改变的同时，举凡材料、材质都将随之改变，所以此刻对于半导体制程威胁最大的挥发性有机化合物(VOC)种类，已与过去大不相同；加上ESG趋势潮流兴起，半导体制造商针对化学滤网的材料要求，开始着重可循环、可再生等特质。上述挑战接踵而至，对于化学滤网业者无疑是巨大考验。
钰祥企业董事长暨总经理庄士杰表示，现今客户(即半导体制造商)对化学滤网的要求极为严苛，既要迎合ESG原则，也要具有较长的使用寿命，且必须能同时去除低中高沸点的挥发性有机化合物；其中最需要严加防备的气态污染物，即为异丙醇(IPA)和丙酮(Acetone)等两大类低沸点VOC。
鉴于此，身为台湾化学滤网业界领导厂商的钰祥积极投入研发，成功找出高效滤材、以及强化的再生技术，研发出新一代堆栈式可再生IPA滤网产品IPA-001B，不仅对IPA或Acetone都能展现优异吸附效率，同时一次可执行长达15天过滤任务(意即15天才需更换一次滤网)，反观一般同质产品每隔3~5天即需更换滤网，显见IPA-001B的产品寿命，足足比市场平均值高出3~5倍。
FFU滤网更换不易，产品寿命及再生使用次数成为重要标准
新一代可再生滤网IPA-001B不只寿命延长，而且还能再生。庄士杰说，虽然市场上并不仅有钰祥出产可再生滤网；但他牌商品需要短周期的频繁更换，且历经3、4次再生制程后，单次的使用寿命就急遽锐减为1天，使用者要在无尘室中搬运滤网，并在离地8~9米高的FFU(Fan Filter Unit)进行置换，整个作业过程需要高专注力及体力，在高频率的更换下负荷极高，难以符合客户的期待。
至于IPA-001B，尽管仍会随着再生次数增多而导致寿命递减，但衰减速度比他牌商品平缓许多。大致上来说，IPA-001B单一产品包含再生的总使用寿命约60天，其余竞品则不超过12天，前后相差五倍之多；不仅如此，有效降低滤网更换频率，同时得以大幅减少高达95%的废弃物，符合ESG净零减碳精神，称得上是一大突破。
庄士杰解释，回顾过往10奈米以上制程阶段，半导体业者并不需要像现在一样严防IPA与Acetone，甚至一年仅换一次滤网都行。但随着制程推进到10奈米以下后，闸极厚度愈来愈小，而大小介于0.1~10奈米的IPA及Acetone，一旦掉落到制程或门极上，就有极高可能对产品良率造成影响，产生重大威胁，连带造成滤网失效率增加、寿命减短，而在更换频度上，若无尘室进气浓度高需要3天一换，假使浓度低可延长为5天一换，偏高的滤网换置频率，无论对成本的消耗及废弃物的产生量，甚至在于高频率、高处更换FFU滤网的坠地工安风险疑虑，都成为半导体高精密制程产业的负担及风险，而钰祥新一代可再生IPA化学滤网的问世，成为了解决难题的密钥。
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