文 / Digitimes 張丹鳳
2022-10-07
圖／鈺祥業務處長於SEMICON半導體大展-創新技術發表會，針對淨零碳排解決方案議題說明最新一代產品的廢棄物減量成效。
隨著半導體製程持續精進，在製程改變的同時，舉凡材料、材質都將隨之改變，所以此刻對於半導體製程威脅最大的揮發性有機化合物(VOC)種類，已與過去大不相同；加上ESG趨勢潮流興起，半導體製造商針對化學濾網的材料要求，開始著重可循環、可再生等特質。上述挑戰接踵而至，對於化學濾網業者無疑是巨大考驗。
鈺祥企業董事長暨總經理莊士杰表示，現今客戶(即半導體製造商)對化學濾網的要求極為嚴苛，既要迎合ESG原則，也要具有較長的使用壽命，且必須能同時去除低中高沸點的揮發性有機化合物；其中最需要嚴加防備的氣態汙染物，即為異丙醇(IPA)和丙酮(Acetone)等兩大類低沸點VOC。
鑒於此，身為台灣化學濾網業界領導廠商的鈺祥積極投入研發，成功找出高效濾材、以及強化的再生技術，研發出新一代堆疊式可再生IPA濾網產品IPA-001B，不僅對IPA或Acetone都能展現優異吸附效率，同時一次可執行長達15天過濾任務(意即15天才需更換一次濾網)，反觀一般同質產品每隔3~5天即需更換濾網，顯見IPA-001B的產品壽命，足足比市場平均值高出3~5倍。
圖／台灣最大化學濾網供應商鈺祥企業，於2022半導體大展中展示新一代再生IPA化學濾網。
2022-10-07
圖／鈺祥業務處長於SEMICON半導體大展-創新技術發表會，針對淨零碳排解決方案議題說明最新一代產品的廢棄物減量成效。
隨著半導體製程持續精進，在製程改變的同時，舉凡材料、材質都將隨之改變，所以此刻對於半導體製程威脅最大的揮發性有機化合物(VOC)種類，已與過去大不相同；加上ESG趨勢潮流興起，半導體製造商針對化學濾網的材料要求，開始著重可循環、可再生等特質。上述挑戰接踵而至，對於化學濾網業者無疑是巨大考驗。
鈺祥企業董事長暨總經理莊士杰表示，現今客戶(即半導體製造商)對化學濾網的要求極為嚴苛，既要迎合ESG原則，也要具有較長的使用壽命，且必須能同時去除低中高沸點的揮發性有機化合物；其中最需要嚴加防備的氣態汙染物，即為異丙醇(IPA)和丙酮(Acetone)等兩大類低沸點VOC。
鑒於此，身為台灣化學濾網業界領導廠商的鈺祥積極投入研發，成功找出高效濾材、以及強化的再生技術，研發出新一代堆疊式可再生IPA濾網產品IPA-001B，不僅對IPA或Acetone都能展現優異吸附效率，同時一次可執行長達15天過濾任務(意即15天才需更換一次濾網)，反觀一般同質產品每隔3~5天即需更換濾網，顯見IPA-001B的產品壽命，足足比市場平均值高出3~5倍。
FFU濾網更換不易，產品壽命及再生使用次數成為重要標準
新一代可再生濾網IPA-001B不只壽命延長，而且還能再生。莊士杰說，雖然市場上並不僅有鈺祥出產可再生濾網；但他牌商品需要短週期的頻繁更換，且歷經3、4次再生製程後，單次的使用壽命就急遽銳減為1天，使用者要在無塵室中搬運濾網，並在離地8~9米高的FFU(Fan Filter Unit)進行置換，整個作業過程需要高專注力及體力，在高頻率的更換下負荷極高，難以符合客戶的期待。
至於IPA-001B，儘管仍會隨著再生次數增多而導致壽命遞減，但衰減速度比他牌商品平緩許多。大致上來說，IPA-001B單一產品包含再生的總使用壽命約60天，其餘競品則不超過12天，前後相差五倍之多；不僅如此，有效降低濾網更換頻率，同時得以大幅減少高達95%的廢棄物，符合ESG淨零減碳精神，稱得上是一大突破。
莊士杰解釋，回顧過往10奈米以上製程階段，半導體業者並不需要像現在一樣嚴防IPA與Acetone，甚至一年僅換一次濾網都行。但隨著製程推進到10奈米以下後，閘極厚度愈來愈小，而大小介於0.1~10奈米的IPA及Acetone，一旦掉落到製程或閘極上，就有極高可能對產品良率造成影響，產生重大威脅，連帶造成濾網失效率增加、壽命減短，而在更換頻度上，若無塵室進氣濃度高需要3天一換，假使濃度低可延長為5天一換，偏高的濾網換置頻率，無論對成本的消耗及廢棄物的產生量，甚至在於高頻率、高處更換FFU濾網的墜地工安風險疑慮，都成為半導體高精密製程產業的負擔及風險，而鈺祥新一代可再生IPA化學濾網的問世，成為了解決難題的金鑰。