在半導體產業中，設備機台扮演著重要的角色，是最直接接觸到元件與產品的一部分，因此也與產品的良率息息相關。對半導體生產設備來說，除了使用的技術與設備本身的品質相當重要之外，設備內部的環境也是不可疏忽的環節。隨著製程線寬不斷的縮小，氣態分子污染物(AMC)的危害就日益增加，為了解決AMC控制問題，鈺祥設計了一系列的化學濾網，能夠適用在各式機台上，為AMC控制解決方案帶來最大的彈性。

鈺祥更與半導體設備製造商密切合作，搶先掌握設備過濾的關鍵技術，以在次世代的設備過濾技術中搶占先機，並滿足最先進製程的需求。若想了解更多關於鈺祥設備製程區解決方案的應用，歡迎隨時與我們聯絡。

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照片 產品名稱 產品介紹
6V Single header

  1. Installation Location 安裝位置：MAU、RCU、Dry coil

  2. Challenge Gases 可去除氣體：MA、MB、MC

  3. Product Specification 規格：可依照客戶需求客製化
4V Single header

  1. Installation Location 安裝位置：MAU、RCU、Dry coil

  2. Challenge Gases 可去除氣體：MA、MB、MC

  3. Product Specification 規格：可依照客戶需求客製化
平板型 
Panel

  1. Installation Location 安裝位置：FFU

  2. Challenge Gases 可去除氣體：MA、MB、MC

  3. Product Specification 規格：可依照客戶需求客製化
3 in 1 
氣密式堆疊

  1. Installation Location 安裝位置：FFU

  2. Challenge Gases 可去除氣體：MA、MB、MC

  3. Product Specification 規格：可依照客戶需求客製化
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